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第7年 |    
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气路柜报价来电咨询「晓韬科技」

发布时间:2022-07-06 02:34:00        作者:晓韬科技

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视频作者:北京晓韬科技有限公司






右侧部分为气路原理

用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)

INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。

INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。

初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。

晓韬科技致力于动态稀释配气仪,如您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询!






左侧选择框内为功能区

模式选择:

通过切换,选择浓度模式和流量模式两种基本控制模式。

浓度模式:用户根据自身配气需求,直接在输出设定中输入所需输出的气体浓度,并点击开始自动配出所需浓度气体。

流量模式:

用户通过每台MFC的手动流量设定,自行控制内部截止阀开关,进行自由设定,系统自动换算出当前输出气体浓度。、

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多点动态气体配气仪技术指标

常规稀释倍数为:200:1,两路MFC流量控制;

流量范围、稀释倍数等根据用户要求可随便设计及装配:

流量重复性:≤0.5%

流量线性误差:≤±0.3%

配气不确定度:<1%

预热时间:30min

自动调零:预热结束后自动调整MFC的零点,或从预热调零页面重复调零

仪器电源:220VAC

使用环境:5℃~45℃

外型尺寸:400mm宽x195mm高x500mm深

仪器重量:约8kg

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配气仪原理

配气原理为质量流量混合法。采用的质量流量控制器,控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。







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