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容积式流量计

在容积式流量计的内部，有一构成固定的大空间和一组将该空间分割成若干个已知容积的小空间的旋转体，如腰轮、皮膜、转筒、刮板、椭圆齿轮、活塞、螺杆等。旋转体在流体压差的作用下连续转动，不断地将流体从已知容积的小空间中排出。根据一定时间内旋转体转动的次数，即可求出流体流过的体积量。容积式流量计的理论流量计算公式：　

式中，qf为工况下的体积流量，m3/s；n为旋转体的流速，周/s；V为旋转体每转一周所排流体的体积，m3/周。

在标准状态下，容积式流量计的体积流量计算公式与速度流量计相同。气体容积式流量计属机械式仪表，一般由测量体和积算器组成，对温度和压力变化的场合则需配置压力计（传感器或变送器）、温度计（传感器或变送器）、流量积算仪（温压补偿）或流量计算机（温压及压缩因子补偿）。

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气体流量控制器的选择

例，真空等离子清洗机的流量控制器选择

工艺气体流量的稳定性，会影响工业型真空等离子清洗机的处理效果，大多数工艺都对气体流量控制要求非常严格，所以工业型真空等离子清洗机都是选用质量流量控制器来实现对工艺气体流量的控制。在工业型真空等离子清洗机实际使用过程中，不同的工艺要求，需要选用不同流量控制范围的质量流量控制器，真空等离子清洗机常用的流量控制范围通常在0~50SCCM、0~500SCCM之间，部分大型真空等离子清洗机也会用到0~1SLM规格的质量流量控制器。

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注：单位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；单位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工艺气体，建议选择对应气体的质量流量控制器，以保证输入气体的稳定和计量；不同的工艺气体，分子大小不同、化学特性不同，使用同规格的质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。

如使用的是常规工艺气体，也可选择一种气体作为标准，只需保证流量稳定即可；但是对于H2、CF4等特殊气体，可燃具有腐蚀性的气体，必须使用的质量流量控制器。

实验型真空等离子清洗机机，通常对流量控制要求不是非常严格，纯手动操作的设备，也会选用手动浮子流量计。

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