AB-12MFC Mass Flow Controller

质量流量计的原理

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目前，国内使用较为广泛的是热式气体质量流量计。

其原理如下：“在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定压比热容 A测量管绕组（即加热系统）与周围环境热交换系统之间的热传导系数； K -------仪表常数）

质量流量计简介

流体的体积是流体温度和压力的函数，是一个因变量，而流体的质量是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述，常用的流量计中，如孔板流量计、层流质量流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为质量。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求，通常还需要设法获得流体的质量流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后，通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的质量。这种测量方法，中间环节多，质量流量测量的准确度难以得到保证和提高。随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置，从而推动了流量测量技术的进步。

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质量流量计的测量

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质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为***的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。

质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。

直接式质量流量计有多种类型，如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。

气体质量流量控制器的原理

体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个检测温度，另一个作为加热器。这两个元件和流量计内的电路组成一个温控系统，该温控系统保持温度检测元件和加热器之间的温度值恒定。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系，来反映气体的流量。