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AB-12MFC Mass Flow Controller

发布时间:2021-11-21 16:44:00        作者:晓韬科技







质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现,当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符,其实原因很简单,因为在MFC行业中,有一种参数叫CF,即气体转换系数(下面简称CF)。而MFC行业中又把N2(氮气)定义为标准气体M。N2的C值为1.00,其他的气体以氮气为中心,分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02(氧气)、H2(氢气)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话,简单的分析其比率,用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的,但是实际流过的气体是He,实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同,但大约都在1.4,所以简单的说就是He气相同示数时,是N2的1.4倍流量。反过来,如果N2流过He的MFC,实际的流量大约是1÷1.4=约0.71,少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时,考虑出厂标定CF是否与你的气源相同



质量流量计简介

流体的体积是流体温度和压力的函数,是一个因变量,而流体的质量是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述,常用的流量计中,如孔板流量计、层流质量流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为质量。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求,通常还需要设法获得流体的质量流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后,通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的质量。这种测量方法,中间环节多,质量流量测量的准确度难以得到保证和提高。随着现代科学技术的发展,相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置,从而推动了流量测量技术的进步。

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气体质量流量控制器的原理

体通过的测量段内有两个热阻元件,其中一个检测温度,另一个作为加热器。这两个元件和流量计内的电路组成一个温控系统,该温控系统保持温度检测元件和加热器之间的温度值恒定。当气体流速增加,冷却效应越大,使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量,即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系,来反映气体的流量。




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