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流量控制器的工作原理

流量控制器（流量计）利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号放大去驱动控制调节阀门。通过实时的流量检测闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

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质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

质量流量计的测量

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质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为***的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。

质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。

直接式质量流量计有多种类型，如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。

光纤制造使用质量流量控制器

在制作过程中，气体质量流量控制器可以控制燃料气体加热预制件，并帮助控制沉积的每一薄层，也可以控制实际的气体，沉积非常纯的玻璃。

气体质量流量控制在拉伸过程中把气被输入炉区，防止燃烧。

大约每5毫秒，质量流量控制器中传感器的信号就会通过整个处理过程。

根据不同的过程及操作压力，质量流量控制器的响应时长将限制在50毫内。在一秒钟内，燃烧器和冷却塔内的流量可能要调节200多次。