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气动控制

气动控制与液压控制相比，动作迅速、方便，使用的元件和工作介质成本低，便于现有机器设备的自动化改装，已经在国际上得到很大发展，成为热点之一。气动控制的缺点，是运动不平稳，有噪音，控制元件的体积较大。

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FSCU 用途

将 FSCU 嵌入到应用系统中，FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器（如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止阀，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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