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质量流量计的原理

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目前，国内使用较为广泛的是热式气体质量流量计。

其原理如下：“在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定压比热容 A测量管绕组（即加热系统）与周围环境热交换系统之间的热传导系数； K -------仪表常数）

质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

质量流量计故障处理方法

硬件故障若出现误差偏大，积算器显示不亮或不增值，显示器空白位等现象，其原因：

a.安装不规范，可直接导致流量计零漂，如质量流量计安装在泵出口处较近，传感器支撑强度不够，连接法兰焊接不当产生应力信号，电缆受电磁干扰。

b.接线问题若出现显示器不亮现象，应检查积算器电源连线，若出现保险丝被烧，应确认输入电压与标准电压标称值，交直流形式是否一致。又若出现积算器不随流量增加时，应检查积算器接线，若积算器装有正/反向程序，应检查流量计接线，因流量计接线不正确，会使积算器在反向流时不递增。

c.工艺介质变化若测量介质出现夹气，气化或两相流等现象，变送器会出现报警显示，严重时，传感器停止工作。

d.变送器失效。

e.传感器失效。

f.管道吹扫问题。

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光纤制造使用质量流量控制器

在制作过程中，气体质量流量控制器可以控制燃料气体加热预制件，并帮助控制沉积的每一薄层，也可以控制实际的气体，沉积非常纯的玻璃。

气体质量流量控制在拉伸过程中把气被输入炉区，防止燃烧。

大约每5毫秒，质量流量控制器中传感器的信号就会通过整个处理过程。

根据不同的过程及操作压力，质量流量控制器的响应时长将限制在50毫内。在一秒钟内，燃烧器和冷却塔内的流量可能要调节200多次。