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气体质量流量控制器如何选择密封材料
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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体积流量的表示方法
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,气体质量流量计控制单元多少钱,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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电磁流量计流体控制注意事项
控制流体边界层的分离点,在吸入侧,从主导压孔到辅助导孔旋涡的分离被有效控制。而在吹出侧,旋涡从主导压孔开始形成,并从主导压孔向下游辅助导压孔运动的过程中得到充分的增强。流体控制元件快易优自动化选型里有收录。
该电压信号经过放大之后,提高桥路的直流供电电压,从而增大了热丝的解热电流,使热丝的温度回升到原来的温度。旋涡交替分离时,在发生体两侧产生交变的压力表,迫使流体从发生体一侧主、辅导压孔吸入,经过热丝检测元件,再从另一侧的主、辅导压孔吹出,实现旋涡分离信号检测。在发生体内腔,设置了隔墙,气体质量流量计控制单元哪家好,在隔墙的槽内,安装了铂丝检测元件。为了提高检测元件的响应速度,气体质量流量计控制单元,应该减小检测元件的热容量和时间常数,因此铂丝很细。
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