气体流量控制模块厂家-气体流量控制模块-晓韬科技有限公司

质量流量控制器在高压条件下如何使用?

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2， 是要挑选工作压差范围大的产品型号;  3， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点，  MFC就能够在高压条件下稳定工作。

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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中，气体流量控制模块多少钱， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。

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使用挥发性液体蒸发汽， 气压很低， 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气体流量控制模块价格，气压很低， 用普通MFC， 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明，气体流量控制模块厂家， 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC， 这时MFC的工作压差范围， 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时，气体流量控制模块， 不能让汽化物在MFC中结露， 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露， 可以对管路和MFC适当加温， 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上， 需要特殊购买高温MFC产品。

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