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怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，质量流量显示仪，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，质量流量显示仪哪家好，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，质量流量显示仪价格，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

中文型流量积算仪

中文型流量积算仪以微处理器为基础、功能齐全、有通讯能力、能与各种流量计配套使用。如：涡街流量计、电磁流量计、孔板、弯管、超声波流量计等，由于进行周密的可靠设计，使仪表具有良好的电磁兼容性和可靠性。

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年检校准的基本要求校准应满足的基本要求如下

1)环境条件校准如在检定(校准)室进行，则环境条件应满足实验室要求的温度、湿度等规定。校准如在现场进行，质量流量显示仪报价，则环境条件以能满足仪表现场使用的条件为准。　 2)仪器作为校准用的标准仪器其误差限应是被校表误差限的1/3~1/10。3)人员校准虽不同于检定，但进行校准的人员也应经有效的考核，并取得相应的合格证书，只有持证人员方呆出具校准证书和校准报告，也只有这种证书和报告才认为是有效的。

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